Chemical stability improvement in IGZO using selective laser annealing system

Tetsuya Goto, Kaori Saito, Fuminobu Imaizumi, Michinobu Mizumura, Akira Suwa, Hiroshi Ikenoue, Shigetoshi Sugawa

研究成果: Conference article査読

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Chemical stability improvement in IGZO using selective laser annealing system」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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