Chemical interaction of NF3 with Si (Part II): density functional calculation studies

A. Endou, T. W. Little, A. Yamada, K. Teraishi, M. Kubo, S. S.C. Ammal, A. Miyamoto, M. Kitajima, F. S. Ohuchi

研究成果: Article査読

13 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Chemical interaction of NF3 with Si (Part II): density functional calculation studies」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Biochemistry, Genetics and Molecular Biology

Physics

Chemistry

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Material Science