Characterization of Epitaxial-PZT/SI Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer (PMUT) and its Phased Array System

Ziyi Liu, Shinya Yoshida, Toshiaki Horie, Shoji Okamoto, Ryouichi Takayama, Shuji Tanaka

研究成果: Conference contribution

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Characterization of Epitaxial-PZT/SI Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer (PMUT) and its Phased Array System」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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