Capacitive silicon resonator structure with movable electrodes to reduce capacitive gap widths based on electrostatic parallel plate actuation

研究成果: Conference contribution

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フィンガープリント 「Capacitive silicon resonator structure with movable electrodes to reduce capacitive gap widths based on electrostatic parallel plate actuation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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