Atomically Controlled Processing for Future Si-Based Devices

Junichi Murota, Masao Sakuraba, Bernd Tillack

研究成果: Chapter

本文言語English
ホスト出版物のタイトルFuture Trends in Microelectronics
ホスト出版物のサブタイトルUp the Nano Creek
出版社John Wiley & Sons, Inc.
ページ246-258
ページ数13
ISBN(印刷版)9780470081464
DOI
出版ステータスPublished - 2007 1 22

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