Atomically controlled CVD processing for doping in future Si-based devices

Junichi Murota, Masao Sakuraba, Bernd Tillack

研究成果: Conference contribution

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Atomically controlled CVD processing for doping in future Si-based devices」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science