Atomic-order thermal nitridation of Si(100) and subsequent growth of Si

T. Watanabe, M. Sakuraba, T. Matsuura, J. Murota

研究成果: Article査読

11 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Atomic-order thermal nitridation of Si(100) and subsequent growth of Si」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy

Chemical Compounds