Atomic layer etching of silicon by thermal desorption method

Shigeru Imái, Takeo Haga1, Osamu Matsuzaki, Takeo Hattori, Masakiyo Matsumura

    研究成果: Article査読

    14 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「Atomic layer etching of silicon by thermal desorption method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science

    Physics & Astronomy