Atomic-layer doping in Si by alternately supplied NH3 and SiH4

Youngcheon Jeong, Masao Sakuraba, Junichi Murota

研究成果: Article査読

32 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Atomic-layer doping in Si by alternately supplied NH<sub>3</sub> and SiH<sub>4</sub>」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy