Atom probe study of erbium and oxygen co-implanted silicon

Yasuo Shimizu, Yuan Tu, Ayman Abdelghafar, Maasa Yano, Yudai Suzuki, Takashi Tanii, Takahiro Shinada, Enrico Prati, Michele Celebrano, Marco Finazzi, Lavinia Ghirardini, Koji Inoue, Yasuyoshi Nagai

研究成果: Conference contribution

2 引用 (Scopus)

フィンガープリント Atom probe study of erbium and oxygen co-implanted silicon' の研究トピックを掘り下げます。これらはともに一意のフィンガープリントを構成します。

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science