At wavelength observation of phase defect embedded in EUV mask using microscope technique

Tsuneo Terasawa, Tsuyoshi Amano, Takeshi Yamane, Hidehiro Watanabe, Mitsunori Toyoda, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe, Hiroo Kinoshita

    研究成果: Conference contribution

    2 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「At wavelength observation of phase defect embedded in EUV mask using microscope technique」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Mathematics

    Engineering & Materials Science

    Physics & Astronomy

    Chemical Compounds