Analysis of voltage coefficient and leakage current of LA2O3 MIM capacitor

Akira Fukuyama, Kuniyuki Kakushima, Parhat Ahmet, A. N. Chandorkar, Kazuo Tsutsui, Nobuyuki Sugii, Takeo Hattori, Hiroshi Iwai

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Analysis of voltage coefficient and leakage current of LA2O3 MIM capacitor」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science