An SOI 3-axis accelerometer with a zigzag-shaped Z-electrode for differential detection

M. Fujiyoshi, Y. Nonomura, H. Funabashi, Y. Omura, T. Akashi, Y. Hata, H. Yamada, Masayoshi Esashi

研究成果: Conference contribution

14 被引用数 (Scopus)

抄録

We have developed a fully-differential 3-axis accelerometer with a novel zigzag-shaped Z-electrode, which is used for motion controls of automobiles and robots.

本文言語English
ホスト出版物のタイトル2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11
ページ1010-1013
ページ数4
DOI
出版ステータスPublished - 2011 9月 1
イベント2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11 - Beijing, China
継続期間: 2011 6月 52011 6月 9

出版物シリーズ

名前2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11

Other

Other2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11
国/地域China
CityBeijing
Period11/6/511/6/9

ASJC Scopus subject areas

  • ハードウェアとアーキテクチャ
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「An SOI 3-axis accelerometer with a zigzag-shaped Z-electrode for differential detection」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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