AlN thin film growth using electron cyclotron resonance reactive sputtering

N. H. Hung, H. Oguchi, H. Kuwano

研究成果: Conference article査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「AlN thin film growth using electron cyclotron resonance reactive sputtering」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy