本文言語 | English |
---|---|
ページ(範囲) | 981-991 |
ページ数 | 11 |
ジャーナル | Shinku/Journal of the Vacuum Society of Japan |
巻 | 41 |
号 | 12 |
DOI | |
出版ステータス | Published - 1998 1 |
ASJC Scopus subject areas
- Condensed Matter Physics
- Surfaces, Coatings and Films
- Electrical and Electronic Engineering
本文言語 | English |
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ページ(範囲) | 981-991 |
ページ数 | 11 |
ジャーナル | Shinku/Journal of the Vacuum Society of Japan |
巻 | 41 |
号 | 12 |
DOI | |
出版ステータス | Published - 1998 1 |