Accurate determination of SiO2 film thickness by x-ray photoelectron spectroscopy

K. Takahashi, H. Nohira, K. Hirose, T. Hattori

    研究成果: Article査読

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    フィンガープリント

    「Accurate determination of SiO<sub>2</sub> film thickness by x-ray photoelectron spectroscopy」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Physics & Astronomy