A new metallic complex reaction etching for transition metals by a low-temperature neutral beam process

Xun Gu, Yoshiyuki Kikuchi, Toshihisa Nozawa, Seiji Samukawa

研究成果: Article査読

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フィンガープリント 「A new metallic complex reaction etching for transition metals by a low-temperature neutral beam process」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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