A new fabrication technology of FinFETs using a neutral beam etching

Kazuhikp Endo, Shuichi Noda, Takuya Ozaki, Seiji Samukawa, Meishoku Masahata, Yongxun Liu, Kenichi Ishii, Hidenori Takashima, Etsuro Sugimata, Takashi Matsukawa, Yuki Yamauchi, Yuki Ishikawa, Eiichi Suzuki

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「A new fabrication technology of FinFETs using a neutral beam etching」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science