A matched expansion MEMS probe card with low CTE LTCC substrate

Seong Hun Choe, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「A matched expansion MEMS probe card with low CTE LTCC substrate」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Engineering & Materials Science