A large-scan-angle piezoelectric MEMS optical scanner actuated by a Nb-doped PZT thin film

Takayuki Naono, Takamichi Fujii, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

研究成果: Article査読

50 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「A large-scan-angle piezoelectric MEMS optical scanner actuated by a Nb-doped PZT thin film」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds