A compact two-axis Lloyd's mirror interferometer for scale grating fabrication

Masanori Matsunaga, Kazuki Mano, Hiraku Matsukuma, Yuki Shimizu, Wei Gao

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

抄録

A non-orthogonal two-axis Lloyd's mirror interferometer for fabrication of a two-axis diffraction grating designed in a compact size is developed. A design study of the modified optical setup for the interferometer and the results of basic experiments with the developed optical setup are carried out to verify the possibility of fabricating the two-axis fine diffraction grating with a single exposure by the developed interferometer unit.

本文言語English
ホスト出版物のタイトルProceedings of the 2018 IEEE International Conference on Advanced Manufacturing, ICAM 2018
編集者Teen-Hang Meen
出版社Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
ページ28-29
ページ数2
ISBN(電子版)9781538656099
DOI
出版ステータスPublished - 2019 1月 16
イベント2018 IEEE International Conference on Advanced Manufacturing, ICAM 2018 - Yunlin, Taiwan, Province of China
継続期間: 2018 11月 162018 11月 18

出版物シリーズ

名前Proceedings of the 2018 IEEE International Conference on Advanced Manufacturing, ICAM 2018

Conference

Conference2018 IEEE International Conference on Advanced Manufacturing, ICAM 2018
国/地域Taiwan, Province of China
CityYunlin
Period18/11/1618/11/18

ASJC Scopus subject areas

  • 生体医工学
  • 材料力学
  • 安全性、リスク、信頼性、品質管理
  • 管理、モニタリング、政策と法律
  • 教育
  • 流体および伝熱
  • 産業および生産工学

フィンガープリント

「A compact two-axis Lloyd's mirror interferometer for scale grating fabrication」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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