15μM air gap 8×8/4×4 pixels single crystal silicon continuous membrane deformable mirror

研究成果: Conference contribution

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フィンガープリント 「15μM air gap 8×8/4×4 pixels single crystal silicon continuous membrane deformable mirror」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science