年別の研究成果
年別の研究成果
フィンガープリント
Yasuyuki Shiraiが活動している研究トピックを掘り下げます。このトピックラベルは、この研究者の研究成果に基づきます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。
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ネットワーク
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Free-Radical Generation from Bulk Nanobubbles in Aqueous Electrolyte Solutions: ESR Spin-Trap Observation of Microbubble-Treated Water
Takahashi, M., Shirai, Y. & Sugawa, S., 2021 4 27, In: Langmuir. 37, 16, p. 5005-5011 7 p.研究成果: Article › 査読
Open Access4 被引用数 (Scopus) -
Modification of copper and copper oxide surface states due to isopropyl alcohol treatment toward area-selective processes
Mawaki, T., Teramoto, A., Ishii, K., Shiba, Y., Kuroda, R., Suwa, T., Azumo, S., Shimizu, A., Umezawa, K., Shirai, Y. & Sugawa, S., 2021 1 1, In: Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films. 39, 1, 013403.研究成果: Article › 査読
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Study on CF4/O2 plasma resistance of O-ring elastomer materials
Goto, T., Obara, S., Shimizu, T., Inagaki, T., Shirai, Y. & Sugawa, S., 2020 1 1, In: Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films. 38, 1, 013002.研究成果: Article › 査読
1 被引用数 (Scopus) -
Study on influence of O2 concentration in wafer cleaning ambient for smoothness of silicon (110) surface appearing at sidewall of three-dimensional transistors
Suwa, T., Teramoto, A., Shirai, Y., Matsuo, T., Mizutani, N. & Sugawa, S., 2020 4 1, 237th ECS Meeting: Silicon Compatible Emerging Materials, Processes, and Technologies for Advanced CMOS and Post-CMOS Applications 10. Jagannathan, H., Kakushima, K., Timans, P. J., Gusev, E., Karim, Z., De Gendt, S., Misra, D., Obeng, Y. S. & Roo, F. (eds.). 3 ed. IOP Publishing Ltd., p. 23-29 7 p. (ECS Transactions; vol. 97, no. 3).研究成果: Conference contribution
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A high-sensitivity compact gas concentration sensor using ultraviolet light absorption with a heating function for a high-precision trimethyl aluminum gas supply system
Ishii, H., Nagase, M., Ikeda, N., Shiba, Y., Shirai, Y., Kuroda, R. & Sugawa, S., 2019, In: Japanese journal of applied physics. 58, SB, SBBL04.研究成果: Article › 査読
Open Access1 被引用数 (Scopus)