年別の研究成果
年別の研究成果
フィンガープリント
Takashiro Tsukamotoが活動している研究トピックを掘り下げます。このトピックラベルは、この研究者の研究成果に基づきます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。
- 6 類似のプロファイル
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研究成果
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A Novel three Degree-of-Freedom Resonator with High Stiffness Sensitivity Utilizing Mode Localization
Chen, J., Tsukamoto, T. & Tanaka, S., 2021 1 25, 34th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2021. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., p. 810-813 4 p. 9375206. (Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS); vol. 2021-January).研究成果: Conference contribution
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PZT MEMS Actuator with Integrated Buried Piezoresistors for Position Control
Vergara, A., Tsukamoto, T., Fang, W. & Tanaka, S., 2021 1 25, 34th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2021. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., p. 626-629 4 p. 9375422. (Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS); vol. 2021-January).研究成果: Conference contribution
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Quad Mass Resonator With Frequency Mismatch of 3 ppm Trimmed by Focused Ion Beam
Chen, J., Tsukamoto, T. & Tanaka, S., 2021, (Accepted/In press) In: Journal of Microelectromechanical Systems.研究成果: Article › 査読
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Rate Integrating Gyroscope Using Independently Controlled CW and CCW Modes on Single Resonator
Tsukamoto, T. & Tanaka, S., 2021 2, In: Journal of Microelectromechanical Systems. 30, 1, p. 15-23 9 p., 9298466.研究成果: Article › 査読
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Fabrication method of micromachined quartz glass resonator using sacrificial supporting structures
Khan, M. J., Tsukamoto, T., Al Farisi, M. S. & Tanaka, S., 2020 4 15, In: Sensors and Actuators, A: Physical. 305, 111922.研究成果: Article › 査読
2 被引用数 (Scopus)