• 53 引用
  • 4 h指数
20112016

年単位の研究成果

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  • 2 同様のプロファイル

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研究成果

  • 53 引用
  • 4 h指数
  • 5 Article
  • 2 Conference contribution

Characterization of patterned porous low-k dielectrics: Surface sealing and residue removal bywet processing/cleaning

Le, Q. T., Kesters, E., Decoster, S., Chan, B. T., Nguyen, M. P., Conard, T., Vanleenhove, A., Holsteyns, F. & De Gendt, S., 2016 1 1, : : ECS Journal of Solid State Science and Technology. 5, 3, p. N5-N9

研究成果: Article

  • 4 引用 (Scopus)

    Structure and thermoelectric properties of PbTe films deposited by thermal evaporation method

    Nguyen, M. P., Froemel, J., Hatayama, S., Sutou, Y., Koike, J., Tanaka, S., Esashi, M. & Gessner, T., 2016 11 21, 16th International Conference on Nanotechnology - IEEE NANO 2016. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., p. 566-568 3 p. 7751384. (16th International Conference on Nanotechnology - IEEE NANO 2016).

    研究成果: Conference contribution

  • 1 引用 (Scopus)
  • 17 引用 (Scopus)

    HF etching mechanisms of advanced low-k films

    Verdonck, P., Le, Q. T., Krishtab, M., Vanstreels, K., Armini, S., Simone, A., Nguyen, M. P., Baklanov, M. R. & Van Elshocht, S., 2014 1 1, 2014 IEEE International Interconnect Technology Conference / Advanced Metallization Conference, IITC/AMC 2014. IEEE Computer Society, p. 155-158 4 p. 6831851. (2014 IEEE International Interconnect Technology Conference / Advanced Metallization Conference, IITC/AMC 2014).

    研究成果: Conference contribution

  • 9 引用 (Scopus)